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金屬中心自主開發次微米級精密氣浮運動平台攜產業跨入奈米等級世代


2018年12月17日 大字 標準 小字
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 金屬中心自主開發之次微米級精密氣浮運動平台
金屬中心自主開發之次微米級精密氣浮運動平台
【記者林常雄/高雄報導】 隨著光電、半導體、生醫、能源、精密光學與精微製造等高科技產業的擴大佈局與發展策略調整,一步步牽動著台灣整體經濟脈動與周邊衛星協力廠商走向,而這些帶動國內經濟發展貢獻的重要產業,其核心製程研發腳步卻因國內無法提供對應之客製化設備,須仰賴國外技術,而導致業者欲進一步提升競爭優勢與發展次世代產品應用時,受限而喪失競爭先機。   

面對這種嚴苛的精微化製程挑戰,整體產業需投注更大的資源,努力於新材料與新製程技術的開發,在上述產業的核心製程與檢測設備中,最基礎的設備關鍵模組即為次微米級與奈米級精密氣浮運動平台。為提供國內產業解決方案,金屬中心於99年起便投入研發DuoFloat氣靜壓軸承技術,經驗證其性能可媲美國際大廠,亦已取得美國、台灣與大陸等地15
件專利;同時以DuoFloat氣靜壓軸承為基礎,現已開發可應用於6吋、8吋與12吋晶圓製程的次微米級精密運動平台,目前應用於業界之範疇有:修補、檢測、切割、3DIC、Micro LED…等。   

金屬中心表示,團隊自主開發的精密氣浮運動平台,不僅零摩擦力且具有次微米級定位、重複與直線精度,因零磨耗更能確保設備精度與性能皆維持在最佳狀態,使其降低維護成本,期盼藉由金屬中心所提供的國產化/客製精密氣浮運動平台、元件、設備及系統開發服務,解決業者現行的技術瓶頸,透過關鍵製程的高度整合,依靠奈米等級的位移控制的機台與機構設計,能大幅提升製程設備業者的表現。



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